產品詳情
簡單介紹：
離子去膠檢測儀設備為單室真空系統，主要由真空系統、氣路系統、電氣系統、射頻電源系統、控制系統、冷卻系統、報警系統等部分組成。
詳情介紹：
離子去膠機 型號：PR-3
通過等離子體方法，對陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進行干法去除。設備為單室真空系統，主要由真空系統、氣路系統、電氣系統、射頻電源系統、控制系統、冷卻系統、報警系統等部分組成。
射頻電源采用RF500W電源控制。
氣路系統采用兩臺浮子流量計控制氣體進氣。
腔室結構：臥式、純石英
真空室規格：F210′300mm
限真空：1Pa（環境濕度≤55%）
真空系統:機械泵
大裝片直徑: F4英寸
大裝片容量：4英寸 25片/爐
去膠速率: ～500A/min
去膠不均勻性：≤±5％ (φ4吋范圍內)
操作方式:手動方式
用戶可選配全自動控制方式
聯系人：王汝玄
聯系電話：18910554055 18910534055 18611444986
傳真號碼：010-68467699
移動電話：18611444986
郵政編號：100142
公司地址：北京市通州區興貿三街18號院
Email：tdcy17@126.com
公司網址：http://www.5117sell.com
QQ：1579845789
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